尾氣回收塔

尾氣回收塔：傳統的多晶硅生產中，產生的尾氣主要包括氫氣、氯化氫、氯硅烷，所述氯硅烷包 括二氯二氫硅、三氯氫硅、以及四氯化硅，這些尾氣主要依靠尾氣回收裝置來回收其中的氫 氣、氯化氫、以及氯硅烷，其中氫氣的回收采用活性炭吸附技術，回收后得到的氫氣純度為 98%左右，當將該回收的氫氣用于還原系統中生產多晶硅時，由于該氫氣中夾帶有少量的氯 化氫及氯硅烷氣體，進入還原工序后影響多晶硅的沉積速率及產品質量，目前采用的解決 方法主要是增加吸收劑用量、降低吸附柱使用時間、加大吸附柱再生氣量等手段，這些手段 造成增加氫氣使用量，或增加生產成本。

針對現有技術中存在的尾氣回收裝置回收氫氣的 純度較低的不足，提供一種多晶硅尾氣回收方法及裝置，采用該方法和裝置能夠提高回收 氫氣的純度，并能合理利用多晶硅生產尾氣回收過程中的冷量，降低尾氣回收能耗，以及能 提商多晶娃廣品的品質。本實施例提供一種多晶硅尾氣回收方法，其包括如下步驟：

對多晶硅尾氣進行冷凝，以將所述多晶硅尾氣中的氯硅烷冷凝成液態，并將所述 液態氯硅烷與所述多晶硅尾氣中余下的第一混合氣分離；

對所述第一混合氣進行壓縮以使之升壓，再將升壓后的第一混合氣與所述液態氯 硅烷進行氣液換熱；

經氣液換熱后的液態氯硅烷進入解析塔，以解析出其中的氯化氫，被解析出氯化 氫之后的液態氯硅烷再進入吸收塔中作為吸收劑，以吸收進入吸收塔的第一混合氣中的氯 化氫；

經氣液換熱后的第一混合氣與從吸收塔被吸收氯化氫后出來的第二混合氣進行 氣氣換熱；

經氣氣換熱后的第一混合氣進入吸收塔中，經氣氣換熱后的第二混合氣進入吸附 塔中，以濾除出第二混合氣中殘余的氣態氯化氫和氯硅烷，從而得到純凈的氫氣。

本實施例還提供一種多晶硅尾氣回收裝置，其包括：

冷凝換熱器，用于對多晶硅尾氣進行冷凝，以將所述多晶硅尾氣中的氯硅烷冷凝 成液態；

氣液分離罐，與冷凝換熱器相連，用于將從冷凝換熱器出來的液態氯硅烷與多晶 硅尾氣中余下的第一混合氣進行分離；

壓縮機，與氣液分離罐相連，用于對所述第一混合氣進行壓縮以使之升壓；

氣液換熱器，分別與氣液分離罐和壓縮機相連，用于對從壓縮機中出來的經升壓 后的第一混合氣以及從氣液換熱器中出來的液態氯硅烷進行氣液換熱；

解析塔，與氣液換熱器相連，用于對從氣液換熱器中出來的液態氯硅烷進行解析， 以解析出其中的氯化氫；

吸收塔，分別與解析塔和氣氣換熱器相連，解析塔中解析出氯化氫之后的液態氯 硅烷進入吸收塔中，作為吸收塔的吸收劑以吸收從氣氣換熱器中進入吸收塔的第一混合氣 中的氯化氫；

氣氣換熱器，與氣液換熱器相連，用于對從氣液換熱器出來的第一混合氣以及從 吸收塔中出來的被吸收氯化氫之后的第二混合氣進行氣氣換熱；

吸附塔，與氣氣換熱器相連，用于對從氣氣換熱器中出來的第二混合氣進行吸附， 以濾除出第二混合氣中殘余的氣態氯化氫和氯硅烷，從而得到純凈的氫氣。